SF6是干法刻蚀中常见的刻蚀气体，我们知道二氧化碳是一种导致全球变暖的温室气体，但是SF6气体对于全球变暖的影响是二氧化碳的数千倍，那么SF6在干法刻蚀有什么作用呢？在使用中有哪些需要注意的事项吗？

SF6的结构

SF6,六氟化硫。在其分子结构中，硫原子位于中心，六个氟原子均匀分布在其周围，形成一个八面体的结构。这种对称的八面体结构使得SF₆分子具有非常低的极性，这也是其在高压电气设备中，作为绝缘气体的原因之一。

SF6的性质

物理性质

无色、无味、不易燃、无毒、绝缘，比空气重，可用于冷却气体，具有高介电强度和热稳定性，难溶于水，但易溶于非极性有机溶剂。

化学性质

1，SF₆是一个非常稳定的化合物，在常温下几乎不与其他化学物质反应；

2，在强紫外光的照射下，SF₆会分解；

3，是人类已知的最强大的温室气体。

SF6的应用？

半导体制程中的应用

1，最著名的应用SF6进行硅刻蚀的工艺是Bosch工艺，详见之前的文章：

什么是干法刻蚀的Bosch工艺？

其中SF6作为硅的刻蚀气体，生成可挥发气体SF4，C4F8作为硅的保护气体，刻蚀与保护不断循环而进行深硅刻蚀。

2， SF₆常用于Mo,W这两种金属的干法刻蚀，因为SF6可以与它们反应生成挥发性的六氟化物：MoF₆和WF₆。方程式为：

SF6+W-->WF6+S

SF6+Mo-->MoF6+S

3,尽管SF₆不是刻蚀铝的首选气体，但在与Cl₂这类气体混合时，SF₆可以作为一个辅助气体来增强刻蚀速率。

电子电气中的应用

主要用作各种高压电气和电子设备的绝缘介质，例如断路器、开关装置和粒子加速器等

SF6气体如何制取？

SF6一般是由工业制取，在自然界中的含量微乎其微。SF6制取的反应方程式为：

2 CoF₃ + SF₄ + [Br₂] → SF₆ + 2 CoF₂ + [Br₂]

当SF₄、CoF₃和Br₂混合在一起并在100°C的温度下加热时，它们之间发生反应。在此反应中，SF₄和CoF₃的一部分反应，生成了SF₆和CoF₂。而溴在反应中并没有被消耗，它只是作为一个催化剂的作用。

SF6有危险吗？

SF₆虽然在纯净状态下是无毒的，但它会排挤空气中的氧气，在空气中的体积大于19%即会导致窒息。因此及时检测SF₆是否泄漏并采取相应的预防措施，在半导体制程中是非常重要的。