六氟化硫SF6具有卓越的电绝缘性，电绝缘能力是空气、氮气的2。5倍左右。六氟化硫具有很好的灭弧性能，其灭弧能力是空气的100倍左右，而且六氟化硫的化学性质非常稳定，所以六氟化硫被广泛用作绝缘气体，如六氟化硫继电器，六氟化硫高压断路器，六氟化硫互导传感器，六氟化硫避雷针等等。
      在镁合金、镁铝合金的冶炼过程中，常常用六氟化硫气体或者六氟化硫和氮气的混合气体作为保护气体，其目的是防止金属镁及其合金被空气氧化。
      在TFT-LCD面板厂及其他微电子行业，六氟化硫常用作清洁气体和蚀刻气体，在光导纤维的生产过程中，也常用六氟化硫作为单膜光纤隔离层掺杂剂。